Bór -triklorid (BCL3)egy szervetlen vegyület, amelyet általában a száraz maratási és kémiai gőzlerakódás (CVD) folyamatokban használnak félvezető gyártásban. Ez egy színtelen gáz, szobahőmérsékleten erős csípős szaggal, és érzékeny a nedves levegőre, mivel hidrolizálja sósavat és bórsavat.

Bór -triklorid alkalmazása

A félvezető iparban,Bór -trikloridelsősorban alumínium száraz maratására és adalékanyagként használják P-típusú régiók kialakítására a szilícium ostyákon. Használható olyan anyagok maratására is, mint a GAAS, SI, ALN, és bizonyos specifikus alkalmazásokban bórforrásként. Ezenkívül a bór -trikloridot széles körben használják a fémfeldolgozásban, az üvegiparban, a kémiai elemzésben és a laboratóriumi kutatásokban.

A bór -triklorid biztonsága

Bór -trikloridkorrozív és mérgező, és a szem és a bőr súlyos károkat okozhat. Hidrolizálja nedves levegőben, hogy felszabadítsa a toxikus hidrogén -kloridgázt. Ezért a kezelés során megfelelő biztonsági intézkedéseket kell tenniBór -triklorid, beleértve a védőruházat, a védőszemüveg és a légzőszervi védelmi berendezések viselését, valamint a jól szellőztetett környezetben történő működést.