Bór-triklorid (BCl3)egy szervetlen vegyület, amelyet gyakran használnak a félvezetőgyártás szárazmaratási és kémiai gőzfázisú leválasztási (CVD) eljárásaiban. Színtelen gáz, szobahőmérsékleten erős, szúrós szaggal, és érzékeny a párás levegőre, mivel hidrolizálva sósavat és bórsavat képez.

A bór-triklorid alkalmazásai

A félvezetőiparbanBór-trikloridfőként alumínium száraz maratására, valamint adalékanyagként P-típusú régiók kialakítására használják szilíciumlapkákon. Használható GaAs, Si, AlN maratására is, valamint bizonyos speciális alkalmazásokban bórforrásként. Ezenkívül a bór-trikloridot széles körben használják a fémfeldolgozásban, az üvegiparban, a kémiai elemzésben és a laboratóriumi kutatásban.

A bór-triklorid biztonsága

Bór-trikloridmaró és mérgező, súlyos szem- és bőrkárosodást okozhat. Nedves levegőben hidrolizál, mérgező hidrogén-klorid gázt szabadítva fel. Ezért kezelés közben megfelelő biztonsági intézkedéseket kell tenni.Bór-triklorid, beleértve a védőruházat, védőszemüveg és légzésvédő felszerelés viselését, valamint a jól szellőző környezetben történő munkavégzést.