Hidrogén -kloridegy színtelen gáz, csípős szaggal. Vizes oldatát sósavnak nevezzük, sósavnak is nevezik. A hidrogén -klorid vízben nagyon oldódik. 0 ° C -on 1 térfogatú víz kb. 500 térfogat hidrogén -kloridot oldhat fel.

A következő tulajdonságokkal és jellemzőkkel rendelkezik:

1. Magas tisztaság

Az elektronikus fokozat tisztaságahidrogén -kloridnagyon magas, általában ppm vagy alacsonyabb szinten, annak biztosítása érdekében, hogy ne kerüljenek szennyeződésekbe a félvezető gyártási folyamatába.

2. Inertitás

Ez egy kémiailag inert gáz, amely nem reagál sok más anyaggal, ami nagyon fontos a félvezető anyagok és berendezések szennyeződésének megakadályozása érdekében.

3. Nagy stabilitás

Elektronikus fokozathidrogén -kloridÁltalában stabil kémiával rendelkezik a megbízható félvezető feldolgozás biztosítása érdekében.

A félvezető feldolgozás során az elektronikus minőségű hidrogén -klorid fő alkalmazásai a következők:

1. Felület tisztítása és előkészítése

Mint hatékony felülettisztító, elektronikus minőséghidrogén -kloridAz oxidok és szennyeződések eltávolítására szolgál a szubsztrát felületéről az epitaxiális réteg vagy film minőségének és tisztaságának biztosítása érdekében.

2.Epitaxiális növekedési segély

Az epitaxiális folyamatban felületkezelő szerként használják, elősegíti az epitaxiális réteg minőségének javítását, a rács illesztésének javítását és a rácshibák kialakulásának csökkentését.

3. Szubsztrát előkezelés

A félvezető eszközök előkészítése előtt, elektronikus fokozathidrogén -kloridHasználható a szubsztrát felületének kezelésére, hogy stabil alapot képezzen az epitaxiális réteg és a szubsztrát közötti tapadás javításához.

4. Létrehelyezés segédanyag

A kémiai gőzlerakódás (CVD) vagy a fizikai gőzlerakódás (PVD) folyamatában az elektronikus minőségű hidrogén -klorid használható gázfázis -átviteli közegként a félvezető anyagok lerakódási reakciójában való részvételhez.

5. Gázfázisú átviteli szer

Gázfázisú átviteli ágensként más gáznemű prekurzorokat vezetnek be a reakció kamrába, hogy segítsék az anyag lerakódási sebességét és egységességét.

Ezek a jellemzők elektronikus minőséget tesznekhidrogén -kloridFontos feldolgozószer a félvezető technológiában, amely kulcsfontosságú hatással van a végső eszköz teljesítményére és megbízhatóságára.

A félvezetői feldolgozásban történő felhasználásán kívül az elektronikus fokozatú hidrogén -klorid más területeken is különféle felhasználásokat találhat, ideértve: nagy tisztaságú anyagok, üzemanyagcellák, félvezető anyagok növekedésének, gőzfázisú litográfiájának, anyagi elemzésének, kémiai kutatásának előkészítése.

Általában az elektronikus fokozathidrogén -kloridegy sokoldalú, nagy tisztaságú gáz, amelynek széles körű alkalmazása van a félvezető gyártásán kívül.