Hidrogén-kloridSzíntelen gáz, szúrós szaggal. Vizes oldatát sósavnak, más néven sósavnak nevezik. A hidrogén-klorid vízben nagyon jól oldódik. 0°C-on 1 térfogatrész víz körülbelül 500 térfogatrész hidrogén-kloridot képes feloldani.

A következő tulajdonságokkal és jellemzőkkel rendelkezik:

1. Nagy tisztaságú

Az elektronikus minőség tisztaságahidrogén-kloridnagyon magas, általában ppm vagy alacsonyabb szinten van, hogy biztosítsa, hogy ne kerüljenek szennyeződések a félvezető gyártási folyamatába.

2. Tehetetlenség

Kémiailag inert gáz, amely nem reagál sok más anyaggal, ami nagyon fontos a félvezető anyagok és berendezések szennyeződésének megakadályozása érdekében.

3. Nagy stabilitás

Elektronikus osztályozáshidrogén-kloridáltalában stabil kémiai tulajdonságokkal rendelkezik a megbízható félvezető-feldolgozás biztosítása érdekében.

A félvezető-feldolgozásban az elektronikus minőségű hidrogén-klorid főbb alkalmazásai a következők:

1. Felülettisztítás és előkészítés

Hatékony felülettisztítóként, elektronikai minőségűhidrogén-kloridAz oxidok és szennyeződések eltávolítására szolgál az aljzat felületéről, hogy biztosítsa az epitaxiális réteg vagy film minőségét és tisztaságát.

2. Epitaxiális növekedést segítő anyag

Felületkezelő szerként használva az epitaxiális folyamatban, segít javítani az epitaxiális réteg minőségét, javítani a rácsillesztést és csökkenteni a rácshibák kialakulását.

3. Aljzat előkezelése

A félvezető eszközök, elektronikus minőségűek elkészítése előtthidrogén-kloridhasználható az aljzat felületének kezelésére, hogy stabil alapot képezzen az epitaxiális réteg és az aljzat közötti tapadás javítására.

4. Lerakódási segédanyag

A kémiai gőzfázisú leválasztás (CVD) vagy a fizikai gőzfázisú leválasztás (PVD) folyamatában az elektronikus minőségű hidrogén-klorid gázfázisú átviteli közegként használható a félvezető anyagok leválasztási reakciójában való részvételre.

5. Gázfázisú transzfer ágens

Gázfázisú transzferágensként más gáznemű prekurzorokat vezetnek be a reakciókamrába, hogy segítsék az anyag lerakódási sebességének és egyenletességének beállítását.

Ezek a tulajdonságok teszik az elektronikus minőségethidrogén-kloridfontos feldolgozási közeg a félvezető technológiában, amely kulcsfontosságú hatással van a végső eszköz teljesítményére és megbízhatóságára.

A félvezető-feldolgozásban való felhasználása mellett az elektronikai minőségű hidrogén-klorid számos más területen is felhasználható, többek között: nagy tisztaságú anyagok előállításában, üzemanyagcellákban, félvezető anyagok növekedésében, gőzfázisú litográfiában, anyagelemzésben és kémiai kutatásban.

Általánosságban elmondható, hogy az elektronikus minőséghidrogén-kloridegy sokoldalú, nagy tisztaságú gáz, amely a félvezetőgyártáson kívül is széles körben alkalmazható.