2018-ban az integrált áramkörök globális elektronikus gázpiaca elérte a 4,512 milliárd USD-t, ami 16%-os éves növekedést jelent. A félvezetők elektronikai speciális gáziparának magas növekedési üteme és a hatalmas piacméret felgyorsította az elektronikai speciális gáz hazai helyettesítési tervét!
Mi az elektrongáz?
Az elektronikus gáz a félvezetők, síkképernyős kijelzők, fénykibocsátó diódák, napelemek és más elektronikai termékek gyártásában használt alapvető alapanyagra utal, és széles körben használják tisztításban, maratásban, filmképzésben, adalékolásban és egyéb folyamatokban. Az elektronikus gáz fő alkalmazási területei közé tartozik az elektronikai ipar, a napelemek, a mobilkommunikáció, az autós navigáció és az autós audio- és videorendszerek, a repülőgépipar, a katonai ipar és számos más terület.
Az elektronikai speciális gázok kémiai összetételük szerint hét kategóriába sorolhatók: szilícium, arzén, foszfor, bór, fémhidrid, halogenid és fém-alkoxid. Az integrált áramkörökben való különböző alkalmazási módok szerint doppinggázra, epitaxiális gázra, ionimplantációs gázra, fénykibocsátó dióda gázra, maratási gázra, kémiai gőzfázisú leválasztási gázra és kiegyenlítő gázra oszthatók. A félvezetőiparban több mint 110 féle speciális gázt használnak, amelyek közül több mint 30-at általánosan használnak.
A félvezetőgyártó ipar általában két típusra osztja a gázokat: közönséges gázokra és speciális gázokra. Ezek közül az általánosan használt gáz a központosított ellátású és nagy mennyiségű gázt használó gázokra vonatkozik, mint például N2, H2, O2, Ar, He stb. A speciális gáz a félvezetőgyártási folyamatokban használt kémiai gázokra vonatkozik, mint például a hosszabbítás, ionbefecskendezés, keverés, mosás és maszkképzés, amelyeket ma elektronikai speciális gáznak nevezünk, mint például a nagy tisztaságú SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 stb.
A félvezetőipar teljes gyártási folyamatában, a chipek növekedésétől a végső eszközcsomagolásig, szinte minden láncszem elválaszthatatlan az elektronikus speciális gáztól, valamint a felhasznált gázok sokféleségétől és a magas minőségi követelményektől, így az elektronikus gáz félvezető anyagokkal rendelkezik. „Élelmiszer”.
Az elmúlt években Kína főbb elektronikai alkatrészeinek, például a félvezetőknek és a kijelzőpaneleknek az új termelési kapacitása megnőtt, és nagy az igény az elektronikai vegyi anyagok importhelyettesítésére. Az elektronikai gázok helyzete a félvezetőiparban egyre hangsúlyosabbá vált. A hazai elektronikai gázipar gyors növekedést fog mutatni.
Az elektronikai speciális gázoknak nagyon magasak a tisztasági követelményeik, mivel ha a tisztaság nem felel meg a követelményeknek, az elektronikai speciális gázban lévő szennyező csoportok, például a vízgőz és az oxigén könnyen oxidréteget képezhetnek a félvezető felületén, ami befolyásolja az elektronikus eszközök élettartamát, és az elektronikai speciális gázban található szennyeződések részecskéi félvezető rövidzárlatot és áramköri károsodást okozhatnak. Elmondható, hogy a tisztaság javítása létfontosságú szerepet játszik az elektronikus eszközök gyártásának hozamában és teljesítményében.
A félvezetőipar folyamatos fejlődésével a chipgyártási folyamat is folyamatosan fejlődik, és mára elérte az 5 nm-es vastagságot, ami hamarosan megközelíti Moore törvényének határát, ami az emberi hajszál átmérőjének huszadrészével (körülbelül 0,1 mm) egyenértékű. Ezáltal magasabb követelményeket támaszt a félvezetők által előállított elektronikus speciális gáz tisztaságával szemben is.
Közzététel ideje: 2021. dec. 15.
