2018-ban az integrált áramkörök globális elektronikus gázpiaca elérte a 4,512 milliárd USD-t, ami 16%-os éves növekedést jelent. A félvezető elektronikai speciális gázipar magas növekedési üteme és a hatalmas piacméret felgyorsította az elektronikai speciális gáz hazai helyettesítési tervét!
Mi az elektrongáz?
Az elektronikai gáz a félvezetők, síkképernyők, fénykibocsátó diódák, napelemek és egyéb elektronikai termékek gyártásához használt alapvető alapanyag, és széles körben használatos tisztítási, maratási, filmképző, doppingolási és egyéb folyamatokban. Az elektronikai gáz fő alkalmazási területei az elektronikai ipar, a napelemek, a mobilkommunikáció, az autós navigáció és az autós audio- és videorendszerek, a repülőgépipar, a hadiipar és sok más terület.
Az elektronikus speciális gáz saját kémiai összetétele szerint hét kategóriába sorolható: szilícium, arzén, foszfor, bór, fém-hidrid, halogenid és fém-alkoxid. Az integrált áramkörökben történő alkalmazási módok szerint adalékgázra, epitaxiás gázra, ionimplantációs gázra, fénykibocsátó diódagázra, maratógázra, kémiai gőzleválasztási gázra és kiegyensúlyozó gázra osztható. A félvezetőiparban több mint 110 egységnyi speciális gázt használnak, amelyek közül több mint 30-at általánosan használnak.
A félvezetőgyártó ipar általában a gázokat két típusra osztja: közönséges gázokra és speciális gázokra. Közülük az általánosan használt gáz a központosított ellátásra utal, és sok gázt használ fel, mint például N2, H2, O2, Ar, He stb. A speciális gáz a félvezetőgyártás során használt egyes kémiai gázokra vonatkozik, mint pl. hosszabbítás, ioninjektálás, keverés, mosás és maszkképzés, amit ma elektronikus speciális gázoknak nevezünk, mint például a nagy tisztaságú SiH4, PH3, AsH3, B2H6, N2O, NH3, SF6, NF3, CF4, BCl3, BF3, HCl, Cl2 stb.
A félvezetőipar teljes gyártási folyamatában a chipnövekedéstől a végső készülékcsomagolásig szinte minden láncszem elválaszthatatlan az elektronikai speciális gáztól, illetve a felhasznált gáz sokféleségétől és a magas minőségi követelményektől, így az elektronikai gáznak vannak félvezető anyagai. "Élelmiszer".
Az elmúlt években Kína fő elektronikai alkatrészeinek, például a félvezetőknek és a kijelzőpaneleknek új gyártási kapacitása nőtt, és erős az igény az elektronikus vegyi anyagok importhelyettesítésére. Az elektronikai gázok helyzete a félvezetőiparban egyre hangsúlyosabbá vált. A hazai elektronikai gázipar gyors növekedést fog indítani.
Az elektronikus speciális gáznak nagyon magas tisztasági követelményei vannak, mert ha a tisztaság nem felel meg a követelményeknek, akkor az elektronikus speciális gázban lévő szennyeződéscsoportok, mint a vízgőz és az oxigén könnyen oxidfilmet képeznek a félvezető felületén, ami befolyásolja a az elektronikai eszközök élettartama, és az elektronikus speciális gáz tartalmaz A szennyeződések részecskéi félvezető rövidzárlatot és áramköri károsodást okozhatnak. Elmondható, hogy az elektronikai eszközgyártás hozamában és teljesítményében a tisztaság javítása döntő szerepet játszik.
A félvezetőipar folyamatos fejlődésével a chipgyártási folyamat folyamatosan javul, és mára elérte az 5 nm-t, ami hamarosan megközelíti a Moore-törvény határát, ami az emberi hajszál átmérőjének egy huszadának felel meg. körülbelül 0,1 mm). Ezért ez magasabb követelményeket támaszt a félvezetők által előállított elektronikai speciális gáz tisztaságával szemben is.
Feladás időpontja: 2021. december 15
