A kén-hexafluorid kiváló szigetelő tulajdonságokkal rendelkező gáz, amelyet gyakran alkalmaznak nagyfeszültségű ívoltásban és transzformátorokban, nagyfeszültségű távvezetékekben, transzformátorokban stb. Ezen funkciókon kívül azonban a kén-hexafluorid elektronikus maratószerként is használható . Az elektronikus minőségű, nagy tisztaságú kén-hexafluorid ideális elektronikus maratószer, amelyet széles körben használnak a mikroelektronikai technológia területén. A mai napon a Niu Ruide speciális gázszerkesztő Yueyue bemutatja a kén-hexafluorid alkalmazását a szilícium-nitrid maratáshoz és a különböző paraméterek hatását.
Megbeszéljük az SF6 plazmamaratási SiNx folyamatot, beleértve a plazma teljesítményének megváltoztatását, az SF6/He gázarányt és az O2 kationos gáz hozzáadását, megvitatjuk a TFT SiNx elem védőrétegének maratási sebességére gyakorolt hatását, valamint plazmasugárzás felhasználását. spektrométer elemzi az egyes fajok koncentrációváltozásait az SF6/He, SF6/He/O2 plazmában és az SF6 disszociációs sebességét, valamint feltárja a kapcsolatot a SiNx maratási sebesség változása és a plazma fajkoncentrációja között.
Tanulmányok azt találták, hogy ha a plazma teljesítményét növeljük, a maratási sebesség növekszik; ha az SF6 áramlási sebessége a plazmában megnő, az F atom koncentrációja nő, és pozitívan korrelál a maratási sebességgel. Ezenkívül a kationos gáz O2 hozzáadása után a rögzített teljes áramlási sebesség mellett növeli a maratási sebességet, de különböző O2/SF6 áramlási arányok mellett különböző reakciómechanizmusok lesznek, amelyek három részre oszthatók. : (1 ) Az O2/SF6 áramlási arány nagyon kicsi, az O2 segíthet az SF6 disszociációjában, és a maratási sebesség ekkor nagyobb, mint ha nem adunk hozzá O2-t. (2) Ha az O2/SF6 áramlási arány 0,2-nél nagyobb az 1-hez közelítő intervallumhoz képest, ebben az időben az SF6 F atomokká képződő nagyfokú disszociációja miatt a maratási sebesség a legmagasabb; ugyanakkor a plazmában az O atomok is növekszenek, és a SiNx filmfelülettel könnyen SiOx vagy SiNxO(yx) képződik, és minél több az O atom, annál nehezebb lesz az F atomok száma. maratási reakció. Ezért a maratási sebesség lassulni kezd, ha az O2/SF6 arány közel 1. (3) Ha az O2/SF6 arány nagyobb, mint 1, a maratási sebesség csökken. Az O2 nagymértékű növekedése miatt a disszociált F atomok ütköznek az O2-vel és OF képződnek, ami csökkenti az F atomok koncentrációját, ami a maratási sebesség csökkenését eredményezi. Ebből látható, hogy O2 hozzáadásával az O2/SF6 áramlási aránya 0,2 és 0,8 között van, és a legjobb maratási sebesség érhető el.
Feladás időpontja: 2021. december 06
