A kén-hexafluorid kiváló szigetelő tulajdonságokkal rendelkező gáz, és gyakran használják nagyfeszültségű ív-oltásban és transzformátorokban, a nagyfeszültségű átviteli vezetékek, transzformátorok stb. Elektronikus fokozatú, nagyszámú kén-hexafluorid ideális elektronikus marató, amelyet széles körben használnak a mikroelektronikai technológia területén. Ma a NIU RUIDE speciális gázszerkesztője, Yueyue bemutatja a kén hexafluorid alkalmazását a szilícium -nitrid maratásban és a különböző paraméterek befolyását.
Megvitatjuk az SF6 plazma maratási SINX folyamatot, beleértve a plazmaerőt, az SF6/HE gázarányát, valamint a kationos Gas O2 hozzáadását, megvitatva annak hatását a TFT SINX elem védelmi rétegének maratási sebességére, valamint a Plazma sugárzás felhasználásával, a spektrométer elemzését az SF6/HE, SF6/HE/O2 plazma és az SF6 disszokációjának elemzésére, és az SF6/He/He/o2 plazmát és az SF6 disszioációt elemzi, és az SF6/He/He/He/o2 plazmát. A SINX maratási sebesség és a plazmafajok koncentrációjának változása között.
A tanulmányok kimutatták, hogy amikor a plazma teljesítménye növekszik, a maratási sebesség növekszik; Ha a plazmában az SF6 áramlási sebessége növekszik, akkor az F atomkoncentráció növekszik, és pozitívan korrelál a maratási sebességgel. Ezenkívül, miután hozzáadta az O2 kationos gázt a rögzített teljes áramlási sebesség mellett, akkor növeli a maratási sebességet, de eltérő O2/SF6 áramlási arányok mellett eltérő reakciómechanizmusok lesznek, amelyek három részre oszthatók: (1) Az O2/SF6 áramlási arány nagyon kicsi, az O2 nem képes az SF6 disszociációjára, és az Etching sebessége, mint az O2 nagyobb, akkor az o2 nagyobb. (2) Ha az O2/SF6 áramlási arány meghaladja az 1 -es közeledő intervallumot, ebben az időben, az SF6 nagy disszociációja miatt az F -atomok képződése, akkor a maratási sebesség a legmagasabb; Ugyanakkor a plazmában lévő O atomok szintén növekszenek, és könnyű SIOX vagy SINXO (YX) képződni a SINX film felületével, és minél több O -atom növekszik, annál nehezebb az F -atomok a maratási reakcióhoz. Ezért a maratási sebesség lassul, ha az O2/SF6 arány közel van 1 (3) Ha az O2/SF6 arány nagyobb, mint 1, a maratási sebesség csökken. Az O2 jelentős növekedése miatt a disszociált F atomok ütköznek az O2 -vel és az OF -vel, amely csökkenti az F atomok koncentrációját, ami a maratási sebesség csökkenését eredményezi. Ebből látható, hogy amikor O2 hozzáadódik, az O2/SF6 áramlási aránya 0,2 és 0,8 között van, és a legjobb maratási sebességet lehet elérni.
A postai idő: december-06-2021
