Szén-tetrafluorid (CF4)

Technikai paraméterek

A szén-tetrafluorid egy halogénezett szénhidrogén, amelynek kémiai képlete CF4.Felfogható halogénezett szénhidrogénnek, halogénezett metánnak, perfluor-szénhidrogénnek vagy szervetlen vegyületnek.A szén-tetrafluorid színtelen és szagtalan gáz, vízben oldhatatlan, benzolban és kloroformban oldódik.Normál hőmérsékleten és nyomáson stabil, kerülje az erős oxidálószereket, gyúlékony vagy éghető anyagokat.Nem éghető gáz, a tartály belső nyomása megnő, ha nagy hőnek van kitéve, és fennáll a repedés és a robbanás veszélye.Kémiailag stabil és nem gyúlékony.Szobahőmérsékleten csak folyékony ammónia-nátrium fémreagens működik.A szén-tetrafluorid üvegházhatást okozó gáz.Nagyon stabil, hosszú ideig a légkörben marad, és nagyon erős üvegházhatású gáz.A szén-tetrafluoridot különféle integrált áramkörök plazmamaratására használják.Lézergázként is használják, és alacsony hőmérsékletű hűtőközegekben, oldószerekben, kenőanyagokban, szigetelőanyagokban és infravörös érzékelők hűtőfolyadékaiban használják.Ez a mikroelektronikai ipar leggyakrabban használt plazmamaratási gáza.Nagy tisztaságú tetrafluor-metán gáz és nagy tisztaságú tetrafluor-metán gáz és nagy tisztaságú oxigén keveréke.Széles körben használható szilíciumban, szilícium-dioxidban, szilícium-nitridben és foszfoszilikát üvegben.A vékonyrétegű anyagok, például a volfrám és a volfrám maratását széles körben használják elektronikus eszközök felülettisztítására, napelemgyártásra, lézertechnológiára, alacsony hőmérsékletű hűtésre, szivárgásvizsgálatra és tisztítószerekre a nyomtatott áramkörök gyártásában.Alacsony hőmérsékletű hűtőközegként és plazmaszáraz maratási technológiaként használják integrált áramkörökhöz.Tárolási óvintézkedések: Hűvös, szellőző, nem éghető gázraktárban tárolandó.Tartsa távol tűztől és hőforrásoktól.A tárolási hőmérséklet nem haladhatja meg a 30°C-ot.A könnyen (éghető) éghető anyagoktól és oxidálószerektől elkülönítve kell tárolni, és kerülni kell a vegyes tárolást.A tárolóhelyet fel kell szerelni szivárgási vészhelyzeti kezelő berendezéssel.

Alkalmazás:

① Hűtőközeg:

A tetrafluor-metánt néha alacsony hőmérsékletű hűtőközegként használják.

② Rézkarc:

Az elektronikai mikrogyártásban önmagában vagy oxigénnel kombinálva használják szilícium, szilícium-dioxid és szilícium-nitrid plazmamarásaként.

Normál csomag:

Előny:

①Nagy tisztaságú, legújabb létesítmény;

②ISO tanúsítvány gyártója;

③Gyors szállítás;

④On-line elemzőrendszer a minőségellenőrzéshez minden lépésben;

⑤ Magas követelmények és aprólékos folyamat a hengerek töltés előtti kezelésére;