Hazánk félvezető és panelipara fenntartja a magas szintű jólétet. A nitrogén-trifluorid, mint elengedhetetlen és legnagyobb mennyiségű speciális elektronikus gáz, a panelek és a félvezetők gyártásában és feldolgozásában, széles piaci teret kínál.
Az általánosan használt fluortartalmú speciális elektronikus gázok között szerepelkén hexafluorid (SF6), volfrám -hexafluorid (wf6),Szén -tetrafluorid (CF4), trifluor -metán (CHF3), nitrogén -trifluorid (NF3), hexafluor -etán (C2F6) és oktafluor -propán (C3F8). A nitrogén-trifluoridot (NF3) főként fluorforrásként használják hidrogén-fluorid-fluorid gáz nagy energiájú vegyi lézerekhez. A H2-O2 és az F2 közötti reakcióenergia tényleges részét (kb. 25%) lézeres sugárzással szabadíthatják fel, így a HF-lézerek a legígéretesebb lézerek a kémiai lézerek között.
A nitrogén -trifluorid kiváló plazma maratási gáz a mikroelektronikai iparban. A szilícium és a szilícium -nitrid maratásához a nitrogén -trifluorid magasabb maratási sebességgel és szelektivitással rendelkezik, mint a szén -tetrafluorid, valamint a szén -tetrafluorid és az oxigén keveréke, és nincs szennyeződés a felszínen. Különösen az integrált áramköri anyagok maratásakor, amelynek vastagsága kevesebb, mint 1,5um, a nitrogén -trifluorid nagyon kiváló maratási sebességgel és szelektivitással rendelkezik, és nincs maradék a maratott tárgy felületén, és szintén nagyon jó tisztítószer. A nanotechnológia fejlődésével és az elektronikai ipar nagyszabású fejlődésével a kereslet napról napra növekszik.
Mint egyfajta fluortartalmú speciális gáz, a nitrogén-trifluorid (NF3) a legnagyobb elektronikus speciális gáztermék a piacon. Kémiailag inert szobahőmérsékleten, aktívabb, mint az oxigén, stabilabb, mint a fluor, és magas hőmérsékleten könnyen kezelhető.
A nitrogén -trifluoridot elsősorban plazma maratógázként és reakció kamra tisztítószerként használják, amely alkalmas olyan mezők gyártására, mint például félvezető chips, síkképület kijelzői, optikai szálak, fotovoltaikus sejtek stb.
Más fluortartalmú elektronikus gázokkal összehasonlítva, a nitrogén-trifluoridnak a gyors reakció és a nagy hatékonyság előnyei vannak, különösen a szilícium-tartalmú anyagok, például a szilícium-nitrid maratásában, magas maratási sebességgel és szelektivitással nem hagyják a markolatokat, és nem hagyják a feldolgozó felületet, és nem maradnak a felületre, és a feldolgozó feldolgozásra nem állnak.
A postai idő: december-26-2024
