A gyakori fluortartalmú speciális elektronikai gázok közé tartozikkén-hexafluorid (SF6), volfrám-hexafluorid (WF6),szén-tetrafluorid (CF4), trifluor-metán (CHF3), nitrogén-trifluorid (NF3), hexafluor-etán (C2F6) és oktafluor-propán (C3F8).
A nanotechnológia fejlődésével és az elektronikai ipar nagyarányú fejlődésével kereslete napról napra nő. A nitrogén-trifluorid, mint a panelek és félvezetők gyártásában és feldolgozásában nélkülözhetetlen és leggyakrabban használt speciális elektronikai gáz, széles piaci térrel rendelkezik.
Fluortartalmú speciális gázként,nitrogén-trifluorid (NF3)a legnagyobb piaci kapacitással rendelkező elektronikai speciális gáztermék. Szobahőmérsékleten kémiailag inert, magas hőmérsékleten aktívabb, mint az oxigén, stabilabb, mint a fluor, és könnyen kezelhető. A nitrogén-trifluoridot főként plazmamaratási gázként és reakciókamra tisztítószerként használják, és alkalmas félvezető chipek, lapos kijelzők, optikai szálak, fotovoltaikus cellák stb.
Más fluortartalmú elektronikus gázokhoz képest,nitrogén-trifluoridElőnye a gyors reakció és a nagy hatékonyság. Különösen szilícium-tartalmú anyagok, például szilícium-nitrid maratásakor magas a marási sebessége és szelektivitása, nem hagy maradékot a maratott tárgy felületén. Ezenkívül nagyon jó tisztítószer, és nem szennyezi a felületet, ami megfelel a feldolgozási folyamat igényeinek.
Feladás időpontja: 2024. szeptember 14
