A volfrám-hexafluoridot (WF6) CVD-eljárással az ostya felületére rakják le, kitöltve a fém összekötő árkokat, és kialakítva a fém összeköttetést a rétegek között.
Először beszéljünk a plazmáról.A plazma egy anyagforma, amely főleg szabad elektronokból és töltött ionokból áll.Széles körben létezik az univerzumban, és gyakran az anyag negyedik állapotának tekintik.Ezt plazmaállapotnak hívják, más néven „plazmának”.A plazma nagy elektromos vezetőképességgel rendelkezik, és erős kapcsoló hatással rendelkezik az elektromágneses mezőhöz.Ez egy részlegesen ionizált gáz, amely elektronokból, ionokból, szabad gyökökből, semleges részecskékből és fotonokból áll.Maga a plazma egy elektromosan semleges keverék, amely fizikailag és kémiailag aktív részecskéket tartalmaz.
Az egyértelmű magyarázat az, hogy a nagy energia hatására a molekula legyőzi a van der Waals-erőt, a kémiai kötéserőt és a Coulomb-erőt, és egészében a semleges elektromosság egy formáját képviseli.Ugyanakkor a külső által közvetített nagy energia legyőzi a fenti három erőt.A funkció, az elektronok és az ionok szabad állapotot mutatnak, amely mesterségesen felhasználható mágneses tér modulációja alatt, mint például a félvezető maratási eljárás, CVD eljárás, PVD és IMP folyamat.
Mi a magas energia?Elméletileg magas hőmérsékletű és nagyfrekvenciás RF is használható.Általánosságban elmondható, hogy magas hőmérsékletet szinte lehetetlen elérni.Ez a hőmérsékleti követelmény túl magas, és közel lehet a nap hőmérsékletéhez.A folyamat során alapvetően lehetetlen elérni.Ezért az ipar általában nagyfrekvenciás rádiófrekvenciát használ ennek eléréséhez.A plazma RF akár 13 MHz-et is elérhet.
A wolfram-hexafluoridot elektromos tér hatására plazmázzák, majd mágneses térrel gőzzel leválasztják.A W atomok hasonlóak a téli libatollakhoz, és a gravitáció hatására a földre esnek.Lassan a W atomok lerakódnak az átmenő lyukakba, és végül az átmenő lyukakat teljesen megtöltik, hogy fém összeköttetéseket képezzenek.Amellett, hogy W atomokat raknak le az átmenő lyukakban, az ostya felületén is lerakódnak?Igen határozottan.Általánosságban elmondható, hogy használhatja a W-CMP eljárást, amelyet mechanikus csiszolási eljárásnak nevezünk az eltávolításhoz.Ez hasonló a seprű használatához a padló felsöprésére erős hóesés után.A földön lévő havat elsodorják, de a földön lévő lyukban lévő hó megmarad.Lefelé, nagyjából ugyanaz.
Feladás időpontja: 2021. december 24
