Elektronikusspeciális gázoka speciális gázok fontos ága. A félvezető termelés szinte minden összeköttetését behatolják, és nélkülözhetetlen nyersanyagok az elektronikus iparágak előállításához, például ultra-nagy méretű integrált áramkörök, síkképernyős kijelzőeszközök és napelemek előállításához.

A félvezető technológiában a fluortartalmú gázokat széles körben használják. Jelenleg a globális elektronikus gázpiacon a fluortartalmú elektronikus gázok az összeg kb. 30% -át teszik ki. A fluortartalmú elektronikus gázok az elektronikus információs anyagok területén a speciális elektronikus gázok fontos elemei. Ezeket főként tisztítószerekként és maratószerekként használják, és adalékanyagokként, filmképző anyagokként is használhatók stb. Ebben a cikkben a szerző elviszi Önt, hogy megértse a közös fluortartalmú gázokat.

Az alábbiakban általában használt fluortartalmú gázok vannak

Nitrogén -trifluorid (NF3): A lerakódások tisztításához és eltávolításához használt gáz, amelyet általában a reakció kamráinak és a berendezések felületének tisztításához használnak.

Kén hexafluorid (SF6): Az oxid lerakódási folyamatokban és szigetelőgázként alkalmazott fluorinálószer a szigetelő táptalaj kitöltésére.

Hidrogén -fluorid (HF): Az oxidok eltávolítására használják a szilícium felületéről és maratásként a szilícium és más anyagok maratására.

Nitrogén -fluorid (NF): Metch anyagok, például szilícium -nitrid (SIN) és alumínium -nitrid (ALN) maratása.

Trifluor -metán (CHF3) éstetrafluor -metán (CF4): A fluorid anyagok, például a szilícium -fluorid és az alumínium -fluorid maratása.

A fluortartalmú gázoknak azonban bizonyos veszélyei vannak, ideértve a toxicitást, a korrozivitást és a gyúlékonyságot.

Toxicitás

Néhány fluortartalmú gáz mérgező, például hidrogén-fluorid (HF), amelynek gőze nagyon irritálja a bőrt és a légzőrendszert, és káros az emberi egészségre.

Javító képesség

A hidrogén -fluorid és egyes fluoridok nagyon korrozívak, és súlyos károkat okozhatnak a bőrben, a szemben és a légzőrendszerben.

Tűzhelyesség

Egyes fluoridok gyúlékonyak, és oxigénnel vagy vízzel reagálnak a levegőben, hogy felszabadítsák az intenzív hő- és mérgező gázokat, amelyek tüzet vagy robbanást okozhatnak.

Nagynyomású veszély

Néhány fluortartalmú gáz nagy nyomás alatt robbanásveszélyes, és felhasználás és tárolás esetén speciális ellátást igényel.

A környezetre gyakorolt ​​hatás

A fluortartalmú gázok magas a légköri élettartammal és a GWP-értékekkel, amelyek pusztító hatással vannak a légköri ózonrétegre, és globális felmelegedést és környezetszennyezést okozhatnak.

A gázok alkalmazása a feltörekvő mezőkben, például az elektronikában tovább mélyül, és nagy mennyiségű új igényt teremt az ipari gázok iránt. A fő elektronikus alkatrészek, például a félvezetők és a kiállítási panelek nagy mennyiségű új termelési kapacitása alapján Kína szárazföldjén, valamint az elektronikus vegyi anyagok behozatali helyettesítése iránti erőteljes kereslet alapján a hazai elektronikus gázipar magas növekedési rátát vezet be.