Elektronikusspeciális gázoka speciális gázok fontos ága. Behatolnak a félvezetőgyártás szinte minden láncszemébe, és nélkülözhetetlen alapanyagok az elektronikai iparágak, például az ultranagy méretű integrált áramkörök, lapos kijelzők és napelemek gyártásához.

A félvezető technológiában széles körben alkalmazzák a fluortartalmú gázokat. Jelenleg a globális elektronikai gázpiacon a fluortartalmú elektronikus gázok a teljes mennyiség mintegy 30%-át teszik ki. A fluortartalmú elektronikus gázok az elektronikus információs anyagok területén a speciális elektronikai gázok fontos összetevői. Főleg tisztítószerként és maratószerként használják, de használhatók adalékanyagként, filmképző anyagként stb. Ebben a cikkben a szerző elvezeti Önt a gyakori fluortartalmú gázok megértéséhez.

A következő általánosan használt fluortartalmú gázok

Nitrogén-trifluorid (NF3): A lerakódások tisztítására és eltávolítására szolgáló gáz, amelyet általában reakciókamrák és berendezések felületeinek tisztítására használnak.

Kén-hexafluorid (SF6): Fluorozószer, amelyet oxidos leválasztási eljárásokban és szigetelőgázként használnak szigetelőközeg töltésére.

Hidrogén-fluorid (HF): oxidok eltávolítására szolgál a szilícium felületéről, valamint maratószerként szilícium és egyéb anyagok maratásához.

Nitrogén-fluorid (NF): Olyan anyagok maratására szolgál, mint a szilícium-nitrid (SiN) és az alumínium-nitrid (AlN).

trifluor-metán (CHF3) éstetrafluor-metán (CF4): Fluorid anyagok, például szilícium-fluorid és alumínium-fluorid maratására használják.

A fluortartalmú gázoknak azonban vannak bizonyos veszélyei, beleértve a toxicitást, a maró hatást és a gyúlékonyságot.

Toxicitás

Egyes fluortartalmú gázok mérgezőek, mint például a hidrogén-fluorid (HF), amelynek gőze erősen irritálja a bőrt és a légutakat, és káros az emberi egészségre.

Maró hatás

A hidrogén-fluorid és egyes fluoridok erősen maró hatásúak, és súlyos bőr-, szem- és légúti károsodást okozhatnak.

Gyúlékonyság

Egyes fluoridok gyúlékonyak, és reakcióba lépnek a levegő oxigénjével vagy vízzel, és intenzív hőt és mérgező gázokat szabadítanak fel, amelyek tüzet vagy robbanást okozhatnak.

Nagynyomású veszély

Egyes fluortartalmú gázok nagy nyomáson robbanásveszélyesek, és használatuk és tárolásuk során különös gondosságot igényelnek.

A környezetre gyakorolt ​​hatás

A fluortartalmú gázok magas légköri élettartammal és GWP értékkel rendelkeznek, amelyek romboló hatással vannak a légkör ózonrétegére, és globális felmelegedést és környezetszennyezést okozhatnak.

A gázok alkalmazása a feltörekvő területeken, például az elektronikában tovább mélyül, ami nagy mennyiségű új keresletet jelent az ipari gázok iránt. A főbb elektronikai alkatrészek, például a félvezetők és a kijelzőpanelek nagy mennyiségű új gyártási kapacitása a következő néhány évben Kínában, valamint az elektronikus vegyi anyagok importhelyettesítése iránti erős kereslet alapján a hazai elektronikai gázipar bevezeti a piacot. magas növekedési ütem.