Elektronikusspeciális gázokA speciális gázok fontos ágát képviselik. Szinte minden láncszembe behatolnak a félvezetőgyártásba, és nélkülözhetetlen alapanyagok az elektronikai iparágak, például az ultra nagyméretű integrált áramkörök, a síkképernyős kijelzők és a napelemek gyártásához.

A félvezető technológiában a fluortartalmú gázokat széles körben használják. Jelenleg a globális elektronikai gázpiacon a fluortartalmú elektronikus gázok a teljes mennyiség mintegy 30%-át teszik ki. A fluortartalmú elektronikus gázok fontos alkotóelemei az elektronikus információs anyagok területén található speciális elektronikus gázoknak. Főként tisztítószerként és marószerként használják őket, de adalékanyagként, filmképző anyagként stb. is használhatók. Ebben a cikkben a szerző bemutatja a gyakori fluortartalmú gázokat.

A következők a gyakran használt fluortartalmú gázok

Nitrogén-trifluorid (NF3): Tisztításra és lerakódások eltávolítására használt gáz, általában reakciókamrák és berendezések felületeinek tisztítására.

Kén-hexafluorid (SF6)Fluorozószer, amelyet oxidleválasztási eljárásokban és szigetelőgázként használnak szigetelőközegek töltésére.

Hidrogén-fluorid (HF): Oxidok eltávolítására használják a szilícium felületéről, valamint maratószerként szilícium és más anyagok maratásához.

Nitrogén-fluorid (NF): Szilícium-nitrid (SiN) és alumínium-nitrid (AlN) maratására használják.

Trifluor-metán (CHF3) éstetrafluor-metán (CF4)Fluoridos anyagok, például szilícium-fluorid és alumínium-fluorid maratására használják.

A fluortartalmú gázok azonban bizonyos veszélyekkel járnak, beleértve a toxicitást, a korrozív hatást és a gyúlékonyságot.

Toxicitás

Néhány fluortartalmú gáz mérgező, például a hidrogén-fluorid (HF), amelynek gőze erősen irritálja a bőrt és a légzőrendszert, és káros az emberi egészségre.

Korrozív hatás

A hidrogén-fluorid és egyes fluoridok erősen maró hatásúak, és súlyos károsodást okozhatnak a bőrön, a szemben és a légzőrendszerben.

Gyúlékonyság

Egyes fluoridok gyúlékonyak, és reakcióba lépnek a levegő oxigénjével vagy vízzel, intenzív hőt és mérgező gázokat szabadítva fel, ami tüzet vagy robbanást okozhat.

Nagynyomású veszély

Egyes fluorozott gázok nagy nyomás alatt robbanásveszélyesek, és használatuk és tárolásuk során különös gondosságot igényelnek.

Környezeti hatás

A fluortartalmú gázok magas légköri élettartammal és GWP-értékekkel rendelkeznek, ami romboló hatással van a légköri ózonrétegre, és globális felmelegedést és környezetszennyezést okozhat.

A gázok alkalmazása az olyan feltörekvő területeken, mint az elektronika, egyre mélyül, ami nagy mennyiségű új keresletet hoz magával az ipari gázok iránt. A kínai szárazföldön a következő években várhatóan nagy mennyiségű új elektronikai alkatrész, például félvezetők és kijelzőpanelek gyártási kapacitásának bővülése, valamint az elektronikai vegyi anyagok importhelyettesítése iránti erős kereslet alapján a hazai elektronikai gázipar magas növekedési ütemet fog mutatni.