A szárazmaratás technológiája az egyik kulcsfontosságú folyamat. A szárazmaratási gáz kulcsfontosságú anyag a félvezetőgyártásban, és fontos gázforrás a plazmamaratásnál. Teljesítménye közvetlenül befolyásolja a végtermék minőségét és teljesítményét. Ez a cikk főként a szárazmaratási folyamatban gyakran használt maratási gázokat ismerteti.
Fluor alapú gázok: példáulszén-tetrafluorid (CF4), hexafluor-etán (C2F6), trifluor-metán (CHF3) és perfluor-propán (C3F8). Ezek a gázok hatékonyan képesek illékony fluoridokat termelni a szilícium és szilíciumvegyületek maratásakor, ezáltal anyagleválasztást eredményezve.
Klór alapú gázok: például klór (Cl2),bór-triklorid (BCl3)és szilícium-tetraklorid (SiCl4). A klór alapú gázok kloridionokat biztosíthatnak a maratás során, ami segít javítani a maratás sebességét és szelektivitását.
Brómalapú gázok: például a bróm (Br2) és a bróm-jodid (IBr). A brómalapú gázok bizonyos marási folyamatokban jobb marási teljesítményt biztosíthatnak, különösen kemény anyagok, például szilícium-karbid marásakor.
Nitrogén- és oxigénalapú gázok: például nitrogén-trifluorid (NF3) és oxigén (O2). Ezeket a gázokat általában a maratási folyamat reakciókörülményeinek beállítására használják, hogy javítsák a maratás szelektivitását és irányítottságát.
Ezek a gázok a plazmamaratás során fizikai porlasztás és kémiai reakciók kombinációjával érik el az anyagfelület precíz maratását. A marógáz kiválasztása a maratandó anyag típusától, a maratás szelektivitási követelményeitől és a kívánt marási sebességtől függ.
Közzététel ideje: 2025. február 8.
