Mi azszén-tetrafluoridMi értelme?
Szén-tetrafluoridA szén-tetrafluorid, más néven tetrafluor-metán, szervetlen vegyületnek tekinthető. Különböző integrált áramkörök plazmamaratási folyamatában, valamint lézergázként és hűtőközegként is használják. Normál hőmérsékleten és nyomáson viszonylag stabil, de kerülni kell az erős oxidálószerekkel, gyúlékony vagy éghető anyagokkal való érintkezést. A szén-tetrafluorid nem éghető gáz. Magas hő hatására a tartály belső nyomása megnő, és fennáll a repedés és a robbanás veszélye. Általában csak szobahőmérsékleten tud kölcsönhatásba lépni folyékony ammónia-nátrium fémes reagenssel.
Szén-tetrafluoridjelenleg a mikroelektronikai iparban leggyakrabban használt plazmamarató gáz. Széles körben alkalmazható szilícium, szilícium-dioxid, foszforsilikát üveg és más vékonyréteg-anyagok maratásában, elektronikus eszközök felületének tisztításában, napelemgyártásban, lézertechnológiában, gázfázisú szigetelésben, alacsony hőmérsékletű hűtésben, szivárgásérzékelő szerekben és nyomtatott áramkörök gyártásában használt mosószerekben, és számos alkalmazási területet kínál.
Közzététel ideje: 2021. november 1.
