Mi azszén-tetrafluorid? Mi a haszna?
Szén-tetrafluoridtetrafluor-metánként is ismert, szervetlen vegyületnek tekintik. Különböző integrált áramkörök plazmamaratására használják, valamint lézergázként és hűtőközegként is használják. Normál hőmérsékleten és nyomáson viszonylag stabil, de kerülni kell az erős oxidálószerekkel, gyúlékony vagy éghető anyagokkal való érintkezést. A szén-tetrafluorid nem éghető gáz. Ha nagy hőhatásba ütközik, az megnő a tartály belső nyomása, és fennáll a repedés és a robbanás veszélye. Általában csak szobahőmérsékleten tud kölcsönhatásba lépni folyékony ammónia-nátrium fémreagenssel.
Szén-tetrafluoridjelenleg a mikroelektronikai iparban használt legnagyobb plazmamaratási gáz. Széles körben használható szilícium, szilícium-dioxid, foszfoszilikát üveg és más vékonyréteg anyagok maratására, elektronikus eszközök felületének tisztítására, napelemgyártásra, lézertechnológiára, gázfázisú szigetelésre, alacsony hőmérsékletű hűtésre, szivárgásérzékelő szerekre, és a nyomtatott áramkörök gyártásában használt mosószerek számos alkalmazási területtel rendelkeznek.
Feladás időpontja: 2021. november 01
