Mi azszén -tetrafluorid? Mi a felhasználás?
Szén -tetrafluorid, más néven tetrafluor -metán, szervetlen vegyületnek tekintik. A különféle integrált áramkörök plazma maratási folyamatában használják, és lézergázként és hűtőközegként is használják. Ez viszonylag stabil normál hőmérsékleten és nyomáson, de el kell kerülni az erős oxidánsokkal, gyúlékony vagy éghető anyagokkal való érintkezést. A szén-tetrafluorid nem éghető gáz. Ha magas hővel találkozik, akkor a tartály belső nyomása növekedni fog, és a repedés és a robbanás veszélye fennáll. Általában csak a folyékony ammónia-nátriumfém reagenssel képes kölcsönhatásba lépni szobahőmérsékleten.
Szén -tetrafluoridJelenleg a legnagyobb plazma maratási gáz, amelyet a mikroelektronikai iparban használnak. Széles körben használható a szilícium, a szilícium-dioxid, a foszfoszilikát üveg és más vékonyrétegű anyagok maratásában, az elektronikus eszközök felületének tisztításában, a napelemek gyártásában, a lézer-technológiában, a gázfázisú szigetelésben, az alacsony hőmérsékletű hűtőszekrényben, a szivárgási detektáló szerekkel és a letartóztatókkal nyomtatott áramkör előállításában számos alkalmazásuk van.
A postai idő: november 01-2021
