Szilánegy szilícium- és hidrogén vegyülete, és a vegyületek sorozatának általános kifejezése. A szilán elsősorban a monoszilán (SIH4), a disilane (SI2H6) és néhány magasabb szintű szilícium-hidrogénvegyület, a Sinh2N+2 általános képletű. A tényleges termelésben azonban általában a monoszilánra (SIH4 kémiai képlet) „szilán” -nak nevezzük.

Elektronikus minőségűszilángázElsősorban a szilíciumpor, a hidrogén, a szilícium-tetraklorid, a katalizátor stb. Tisztításával, a 3N-tól 4N tisztaságú szilánját, az ipari minőségű szilánnak nevezzük, és a 6N tisztaságú szilánnak nevezzük, hogy elektronikus minőségű szilán gáznak nevezzük.

Gázforrásként a szilícium alkatrészek szállításához,szilángázfontos speciális gázmá vált, amelyet sok más szilíciumforrás nem helyettesíthet, mert magas tisztaság és a finom ellenőrzés elérése képes. A monoszilán kristályos szilíciumot generál pirolízis reakción keresztül, amely jelenleg az egyik módszer a granulált monokristályos szilícium és a polikristályos szilícium nagyszabású előállítására a világon.

Szilánjellemzők

Silane (SIH4)egy színtelen gáz, amely reagál a levegővel és fulladást okoz. Szinonimája a szilícium -hidrid. A szilán kémiai képlete SIH4, és tartalma akár 99,99%. Szobahőmérsékleten és nyomáson a szilán egy rossz illatú mérgező gáz. A szilán olvadási pontja -185 ℃ és a forráspont -112 ℃. Szobahőmérsékleten a szilán stabil, de 400 ℃ -re melegítve, teljesen bomlik gáznemű szilíciumra és hidrogénré. A szilán gyúlékony és robbanásveszélyes, és robbanásszerűen ég a levegőben vagy a halogéngázban.

Alkalmazási mezők

A Silane széles körű felhasználási lehetőségeket kínál. Amellett, hogy a leghatékonyabb módja a szilíciummolekulák rögzítésének a sejt felületéhez a napelemek előállítása során, széles körben használják a gyártóüzemek, például félvezetők, síkképület -kijelzők és bevont üveg gyártásában is.

SzilánA kémiai gőzlerakódási folyamatok, például egykristályos szilícium, polikristályos szilícium -epitaxiális ostyák, szilícium -dioxid, szilícium -nitrid és foszfoszilikát üveg szilíciumforrása a szilíciumforráshoz a félvezető iparban, és széles körben használja a Solar Cells, a Silicon Camer Drums, a fotoelektrikus érzékelőket, az Optical Selfers -t és a speciális poharat.

Az utóbbi években a Silanes csúcstechnológiájú alkalmazásai továbbra is megjelennek, ideértve a fejlett kerámia, a kompozit anyagok, a funkcionális anyagok, a biológiai anyagok, a nagy energiájú anyagok stb. Készítését, és számos új technológia, új anyag és új eszköz alapjául szolgálnak.