SzilánA szilícium és hidrogén vegyülete, és egy vegyületsorozat gyűjtőneve. A szilán főként monoszilánt (SiH4), diszilánt (Si2H6) és néhány magasabb szintű szilícium-hidrogén vegyületet foglal magában, általános képletük SinH2n+2. A tényleges gyártás során azonban általában a monoszilánt (kémiai képlet SiH4) „szilánnak” nevezzük.

Elektronikus minőségűszilángázfőként szilíciumpor, hidrogén, szilícium-tetraklorid, katalizátor stb. különféle reakciódesztillációjával és tisztításával nyerik. A 3N-4N tisztaságú szilánt ipari minőségű szilánnak, a 6N-nál nagyobb tisztaságú szilánt pedig elektronikai minőségű szilángáznak nevezik.

Szilícium alkatrészek szállítására szolgáló gázforrásként,szilángázfontos speciális gázzá vált, amelyet nagy tisztasága és finom szabályozási képessége miatt sok más szilíciumforrás nem helyettesíthet. A monoszilán pirolízis reakcióval állít elő kristályos szilíciumot, amely jelenleg a szemcsés monokristályos szilícium és polikristályos szilícium nagyméretű előállításának egyik módszere a világon.

Szilán jellemzői

Szilán (SiH4)Színtelen gáz, amely levegővel reagálva fulladást okoz. Szinonimája a szilícium-hidrid. A szilán kémiai képlete SiH4, és tartalma akár 99,99%. Szobahőmérsékleten és nyomáson a szilán kellemetlen szagú, mérgező gáz. A szilán olvadáspontja -185 ℃, forráspontja -112 ℃. Szobahőmérsékleten a szilán stabil, de 400 ℃-ra hevítve teljesen gáz halmazállapotú szilíciumra és hidrogénre bomlik. A szilán gyúlékony és robbanásveszélyes, és levegőn vagy halogéngázban robbanásszerűen ég.

Alkalmazási területek

A szilán széleskörű felhasználási lehetőségekkel rendelkezik. Amellett, hogy a szilíciummolekulák napelemek felületéhez rögzítésének leghatékonyabb módja, széles körben alkalmazzák gyártóüzemekben, például félvezetők, síkképernyős kijelzők és bevonatos üvegek gyártásában.

Szilána félvezetőiparban használt kémiai gőzfázisú leválasztási eljárások, például egykristályos szilícium, polikristályos szilícium epitaxiális ostyák, szilícium-dioxid, szilícium-nitrid és foszforsilikát üveg forrása, és széles körben használják napelemek, szilícium fénymásolódobok, fotoelektromos érzékelők, optikai szálak és speciális üvegek gyártásában és fejlesztésében.

Az utóbbi években a szilánok csúcstechnológiás alkalmazásai továbbra is megjelennek, beleértve a fejlett kerámiák, kompozit anyagok, funkcionális anyagok, bioanyagok, nagy energiájú anyagok stb. gyártását, amelyek számos új technológia, új anyag és új eszköz alapjává válnak.