Összetevő | 99,9999% | Mértékegység |
Oxigén (Ar) | ≤0,1 | ppmV |
Nitrogén | ≤0,1 | ppmV |
Hidrogén | ≤20 | ppmV |
Hélium | ≤10 | ppmV |
CO+CO2 | ≤0,1 | ppmV |
THC | ≤0,1 | ppmV |
Klór-szilánok | ≤0,1 | ppmV |
Disziloxán | ≤0,1 | ppmV |
Disilane | ≤0,1 | ppmV |
Nedvesség (H2O) | ≤0,1 | ppmV |
A szilán szilícium és hidrogén vegyülete.Ez egy általános kifejezés egy sor vegyületre, beleértve a monoszilánt (SiH4), a diszilánt (Si2H6) és néhány magasabb szintű szilícium-hidrogén vegyületet.Közülük a monoszilán a legelterjedtebb, amelyet röviden szilánnak is neveznek.A szilán színtelen gáz, undorító fokhagyma szaggal.Vízben oldódik, etanolban, éterben, benzolban, kloroformban, szilícium-kloroformban és szilícium-tetrakloridban szinte oldhatatlan.A szilánok kémiai tulajdonságai sokkal aktívabbak, mint az alkánoké, és könnyen oxidálódnak.Levegővel érintkezve spontán égés léphet fel.Nem lép reakcióba nitrogénnel 25°C alatt, és nem lép reakcióba szénhidrogén vegyületekkel szobahőmérsékleten.A szilán tüze és robbanása oxigénnel való reakció eredménye.A szilán rendkívül érzékeny az oxigénre és a levegőre.A bizonyos koncentrációjú szilán -180°C hőmérsékleten robbanásszerűen reagál az oxigénnel.A szilán a félvezető mikroelektronikai folyamatok legfontosabb speciális gázává vált, és különféle mikroelektronikai filmek, köztük egykristályos filmek, mikrokristályos, polikristályos, szilícium-oxid, szilícium-nitrid és fém-szilicidek előállítására használják.A szilán mikroelektronikai alkalmazásai még mindig mélyen fejlődnek: alacsony hőmérsékletű epitaxia, szelektív epitaxia és heteroepitaxiális epitaxia.Nemcsak szilícium eszközökhöz és szilícium integrált áramkörökhöz, hanem összetett félvezető eszközökhöz is (gallium-arzenid, szilícium-karbid stb.).Alkalmazása szuperrácsos kvantumkút anyagok előállításában is van.Elmondható, hogy a szilánt a modern időkben szinte minden fejlett integrált áramköri gyártósoron használják.A szilán szilíciumtartalmú filmként és bevonatként való alkalmazása a hagyományos mikroelektronikai ipartól különböző területekre, például acéliparra, gépiparra, vegyiparra és optikára bővült.A szilán másik lehetséges felhasználási területe a nagy teljesítményű kerámia motoralkatrészek gyártása, különösen a szilán felhasználása szilicid (Si3N4, SiC, stb.) mikroporos technológiával vált egyre nagyobb figyelmet.
①Elektronikus:
A szilánt félvezetők és tömítőanyagok gyártása során szilícium lapkákon lévő polikristályos szilícium rétegekre hordják fel.
②Szolár:
A szilánt a napelemes fotovoltaikus modulok gyártásában használják.
③ Ipari:
Energiatakarékos Green Glass-ban használják, és gőzfázisú leválasztási vékonyréteg-folyamathoz alkalmazzák.
Termék | Szilán SiH4 Folyékony | |
csomag mérete | 47 literes henger | Y-440L |
Betöltés Nettó tömeg/Cyl | 10 kg | 125 kg |
Menny. 20'-es konténerbe töltve | 250 henger | 8Cyls |
Teljes nettó tömeg | 2,5 tonna | 1 tonna |
Henger tára tömege | 52 kg | 680 kg |
Szelep | CGA632/DISS632 |
①Több mint tíz éve a piacon;
②ISO tanúsítvány gyártója;
③Gyors szállítás;
④ Stabil nyersanyagforrás;
⑤On-line elemző rendszer a minőségellenőrzés érdekében minden lépésben;
⑥ Magas követelmények és aprólékos folyamat a hengerek töltés előtti kezelésére;
⑦ Tisztaság: nagy tisztaságú elektronikus minőségű;
⑧ Felhasználás: napelem anyagok;nagy tisztaságú poliszilícium, szilícium-oxid és optikai szál gyártása;színes üveg gyártás.