Szén-tetrafluorid (CF4)

Műszaki paraméterek

A szén-tetrafluorid egy halogénezett szénhidrogén, amelynek kémiai képlete CF4. Felfogható halogénezett szénhidrogénnek, halogénezett metánnak, perfluor-szénhidrogénnek vagy szervetlen vegyületnek. A szén-tetrafluorid színtelen és szagtalan gáz, vízben oldhatatlan, benzolban és kloroformban oldódik. Normál hőmérsékleten és nyomáson stabil, kerülje az erős oxidálószereket, gyúlékony vagy éghető anyagokat. Nem éghető gáz, a tartály belső nyomása nagy hő hatására megnő, és fennáll a repedés és robbanás veszélye. Kémiailag stabil és nem gyúlékony. Szobahőmérsékleten csak folyékony ammónia-nátrium fémreagens működik. A szén-tetrafluorid üvegházhatást okozó gáz. Nagyon stabil, hosszú ideig a légkörben marad, és nagyon erős üvegházhatású gáz. A szén-tetrafluoridot különféle integrált áramkörök plazmamaratására használják. Lézergázként is használják, és alacsony hőmérsékletű hűtőközegekben, oldószerekben, kenőanyagokban, szigetelőanyagokban és infravörös érzékelők hűtőfolyadékaiban használják. Ez a mikroelektronikai ipar leggyakrabban használt plazmamaratási gáza. Nagy tisztaságú tetrafluor-metán gáz és nagy tisztaságú tetrafluor-metán gáz és nagy tisztaságú oxigén keveréke. Széles körben használható szilíciumban, szilícium-dioxidban, szilícium-nitridben és foszfoszilikát üvegben. A vékonyrétegű anyagok, például a volfrám és a volfrám maratását széles körben használják elektronikus eszközök felülettisztításában, napelemgyártásban, lézertechnológiában, alacsony hőmérsékletű hűtésben, szivárgásvizsgálatban és tisztítószerekben a nyomtatott áramkörök gyártásában. Alacsony hőmérsékletű hűtőközegként és plazmaszáraz maratási technológiaként használják integrált áramkörökhöz. Tárolási óvintézkedések: Hűvös, szellőző, nem éghető gázraktárban tárolandó. Tartsa távol tűztől és hőforrásoktól. A tárolási hőmérséklet nem haladhatja meg a 30°C-ot. A könnyen (éghető) éghető anyagoktól és oxidálószerektől elkülönítve kell tárolni, és kerülni kell a vegyes tárolást. A tárolóhelyet fel kell szerelni szivárgási vészhelyzeti kezelő berendezéssel.

Alkalmazás:

① Hűtőközeg:

A tetrafluor-metánt néha alacsony hőmérsékletű hűtőközegként használják.

② Rézkarc:

Az elektronikai mikrogyártásban önmagában vagy oxigénnel kombinálva használják szilícium, szilícium-dioxid és szilícium-nitrid plazmamarásaként.

Normál csomag:

Előny:

①Nagy tisztaságú, legújabb létesítmény;

②ISO tanúsítvány gyártója;

③Gyors szállítás;

④On-line elemzőrendszer a minőségellenőrzéshez minden lépésben;

⑤ Magas követelmények és aprólékos folyamat a hengerek töltés előtti kezelésére;