Szilán (SiH4)

Műszaki paraméterek

A szilán szilícium és hidrogén vegyülete. Ez egy általános kifejezés egy sor vegyületre, beleértve a monoszilánt (SiH4), a diszilánt (Si2H6) és néhány magasabb szintű szilícium-hidrogén vegyületet. Közülük a monoszilán a legelterjedtebb, amelyet röviden szilánnak is neveznek. A szilán színtelen gáz, undorító fokhagyma szaggal. Vízben oldódik, etanolban, éterben, benzolban, kloroformban, szilícium-kloroformban és szilícium-tetrakloridban szinte oldhatatlan. A szilánok kémiai tulajdonságai sokkal aktívabbak, mint az alkánoké, és könnyen oxidálódnak. Levegővel érintkezve spontán égés léphet fel. Nem lép reakcióba nitrogénnel 25°C alatt, és nem lép reakcióba szénhidrogén vegyületekkel szobahőmérsékleten. A szilán tüze és robbanása oxigénnel való reakció eredménye. A szilán rendkívül érzékeny az oxigénre és a levegőre. A bizonyos koncentrációjú szilán -180°C hőmérsékleten robbanásszerűen reagál az oxigénnel. A szilán a félvezető mikroelektronikai folyamatok legfontosabb speciális gázává vált, és különféle mikroelektronikai filmek, köztük egykristályos filmek, mikrokristályos, polikristályos, szilícium-oxid, szilícium-nitrid és fém-szilicidek előállítására használják. A szilán mikroelektronikai alkalmazásai még mindig mélyen fejlődnek: alacsony hőmérsékletű epitaxia, szelektív epitaxia és heteroepitaxiális epitaxia. Nemcsak szilícium eszközökhöz és szilícium integrált áramkörökhöz, hanem összetett félvezető eszközökhöz is (gallium-arzenid, szilícium-karbid stb.). Alkalmazása szuperrácsos kvantumkút anyagok előállításában is van. Elmondható, hogy a szilánt a modern időkben szinte minden fejlett integrált áramköri gyártósoron használják. A szilán szilíciumtartalmú filmként és bevonatként való alkalmazása a hagyományos mikroelektronikai ipartól különböző területekre, például acéliparra, gépiparra, vegyiparra és optikára bővült. A szilán másik lehetséges felhasználási területe a nagy teljesítményű kerámia motoralkatrészek gyártása, különösen a szilán felhasználása szilicid (Si3N4, SiC, stb.) mikropor gyártása során egyre nagyobb figyelmet kapott.

Alkalmazás:

①Elektronikus:

A szilánt félvezetők és tömítőanyagok gyártása során szilícium lapkákon lévő polikristályos szilícium rétegekre hordják fel.

②Szolár:

A szilánt a napelemes fotovoltaikus modulok gyártásában használják.

③ Ipari:

Energiatakarékos Green Glass-ban használják, és gőzfázisú leválasztási vékonyréteg-folyamathoz alkalmazzák.

Normál csomag:

Előny:

①Több mint tíz éve a piacon;

②ISO tanúsítvány gyártója;

③Gyors szállítás;

④ Stabil nyersanyagforrás;

⑤On-line elemző rendszer a minőségellenőrzés érdekében minden lépésben;

⑥ Magas követelmények és aprólékos folyamat a hengerek töltés előtti kezelésére;

⑦ Tisztaság: nagy tisztaságú elektronikus minőségű;

⑧ Felhasználás: napelem anyagok; nagy tisztaságú poliszilícium, szilícium-oxid és optikai szál gyártása; színes üveg gyártás.